SEIMYUNG 紫外线灯CR0130U

光刻机（lithography）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。生产集成电路的简要步骤：利用模版去除晶圆表面的保护膜。将晶圆浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。一片晶圆可以制作数十个集成电路，根据模版曝光机分为两种：模版和晶圆大小一样，模版不动。模版和集成电路大小一样，模版随曝光机聚焦部分移动。其中模版随曝光机移动的方式，模版相对曝光机中心位置不变，始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为的主流。超高压汞灯、金属卤素灯，紫外线消毒，工业生产更安心。SEIMYUNG 紫外线灯CR0130U

扫描步进投影曝光（Scanning-Stepping Project Printing）。90年代末至今，用于≤0.18μm工艺。采用6英寸的掩膜板按照4：1的比例曝光，曝光区域（Exposure Field）26×33mm。优点：增大了每次曝光的视场；提供硅片表面不平整的补偿；提高整个硅片的尺寸均匀性。但是，同时因为需要反向运动，增加了机械系统的精度要求。d. 高精度双面：主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和生产。高精度特制的翻版机构、双视场CCD显微显示系统、多点光源曝光头、真空管路系统、气路系统、直联式无油真空泵、防震工作台等组成。适用于φ100mm以下，厚度5mm以下的各种基片的对准曝光。交流电源紫外线灯2KW电源i线步进式光刻机NSR-SF100,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率3.5KW，型号：NLi-3500AS。

ORC 直流电源,型号：BDE-123ND，功率：12KW；适用于FX-51S，FX-61S,FX-63 TFT黄光曝光设备。

外形尺寸300(宽)×715（高）×600mm（深)

1.入力电源电压：200/208/220VAC±10％（自动切替）相数：3相3线周波数：50/60Hz（自动切替）稳定电流：50A以下突入电流：100A以下端子台番号：TB1端子台番号(CHAMBER侧)：TB649端子台螺丝：M6

2.LAMP输出控制方式：可以定电力控制方式和定照度控制方式切换稳定输出：1200W(定电力时)电压：LAMP点灯初期4分钟限制80±5A以下LAMP点灯4分钟过后，依存LAMP电压，最大电流限制在120A±5A以下端子台番号：TB2端子台螺丝：M8

i线步进式光刻机NSR-SF155适用于半导体器件的制造。性能：Resolution分辨率≦280nm，NA0.62，Exposure light source曝光光源i-line(365nmwavelength)，Reductionratio缩小倍率1:4Maximumexposurefield，曝光范围26mm×33mm，Overlay重合精度≦25nm，Throughput产出≧200wafers/hour(300mmwafer,76shots),也可用于200mmwafer。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造”。通过高速运转的晶圆工作台，实现了每小时200片以上300mm晶圆的高产出。●超高产出采用了适于步进式光刻机的新平台“天钩构造”，同时晶圆工作台可高速运转，从而大幅度降低了振动，并实现了高产出。达到了每小时200片以上300mm晶圆的超高产出。高重合精度采用了“天钩构造”与配重物。并重新配置了空调管路，有利于工作室内的散热。实现了25nm以下的重合精度。使用ORC制作所生产的7.5KW超高压汞灯，对应型号：NLi-7500AL2。型号：Nikon NSR-I12 ，应用于生产线，是6英寸，8英寸 i线光刻胶的曝光，曝光精度准，解析力可达350NM。

高压短弧汞灯又称高压汞灯，ORC制作所有30年以上制造经验。

点亮汞灯需要高压启动器配合，目的是提供20KV电压，用于击穿汞灯的阳极/阴极之间的绝缘状态，使其在灯球内形成短路状态，持续放射出电弧。

电源提供电子，运动方向由正电荷移动到负电荷，电子和汞蒸气原子在灯球内相互碰撞，产生热量，100KPa以上的膨胀高压，持续发出紫外线平行光。

根据产品所需紫外线光种类，调整汞液体的充填量和充填稀有气体种类。

波长分布设计跨度UVA，UVB，UVC。 i线步进式光刻机NSR-2205i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2011AHL。超高压汞灯紫外线灯UNL-12001

i线步进式光刻机NSR2205i14,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2.5KW，型号：NLi-2510AHL2。SEIMYUNG 紫外线灯CR0130U

制造厂家：ORCMANUFACTURINGCO.,LTD产品名称：超高压汞灯（Super-hightpressuremercurylamp）型号:ONL-12001适用设备：FX-66S主要波长分布:365nm/405nm/436nm曝光设备功率：12KW灯管结构：由灯座，阴阳极，石英球体，稀有气体，液体汞等要素构成发光原理：灯管在高温，高压，多种特殊气体的环境下，电子和汞原子相互碰撞，发出多种波长的紫外线光。用途:液晶显示面板制作工厂，TFTArrayPhoto黄光部门曝光设备的光源.交货周期：30天SEIMYUNG 紫外线灯CR0130U